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턴키 방법을 사용하여 세계에서 가장 크고 가장 진보 된 반도체 공장 중 하나 만들기

Elpida 메모리는 일본의 유일한 DRAM (컴퓨터 기본 메모리에 사용되는 반도체 메모리 요소) 제조업체입니다. 2004 년 히로시마 공장으로 계획된 새로운 공장은 세계에서 가장 큰 공장 중 하나였으며, 운영 될 때 월 60,000 대 이상의 DRAM 생산 능력을 자랑합니다.

매우 엄격한 메가 슬롯 기간 외에도 메가 슬롯이 시작된 후 9 개월 후 생산 장비를 전달할 수 있도록 고객의 설계 변경 요청에 유연하게 대응하여 반도체 업계의 일일 진화 상황을 반영합니다. . 그것은 가야했고, 메가 슬롯이 시작될 때가 아니라 세계에서 가장 진보 된 공장으로 운영 할 수 있어야했습니다.

고객이 제시 한 OBR (기본 요구 사항)을 기반으로 메가 슬롯 팀과 메가 슬롯 부서는 2001 년에 철저한 일정 및 메가 슬롯 계획을 만들기 위해 협력하여 DRAM 설계 및 메가 슬롯 경험을 활용할 수있었습니다. 같은 사이트의 공장. 기둥이없는 공장을 매우 유연하고 넓은 공간으로 만들기 위해서는 마이크로 진동과 싸우기위한 조치를 고려하기 위해서는 어려운 설계 요구 사항이었습니다.

메가 슬롯에서 중요한 문제 중 하나는 기존 공장에서의 생산에 영향을 미치지 않는 것이 었습니다. 기존 공장 불편 영역에서진동 센서가 설치되었고, 주파수 분석이 실시간으로 수행되었으며, 허용 가능한 세트 포인트 (알람 및 경고)가 초과되면 작업자가 회전 조명과 버저 등으로 경고하여 작업 환경을 개선했습니다. 또한이 장치는 기술을 사용하여 정상적인 진동과 구조 진동을 구별하고 잘못된 경보를 줄입니다.

건축 기간을 단축하기 위해 외부 구조와 병렬로 인테리어깨끗한 방 구축그러나 먼지가 들어가는 것을 방지하기 위해, 우리는 4 단계를 취함으로써 클린 룸 내부의 청소 수준을 점차적으로 증가시키는 프로토콜 관리 (단계별 메가 슬롯 관리)를 수행했습니다. 또한 건축 자재에서 소량으로 방출되는 화학 물질 (Outgassing)의 문제는 Technology Research Institute에서 확인한 재료를 사용하여 해결되었습니다.