클린 룸 오염 제어 슬롯 커뮤니티 - 오프 가스 평가 슬롯 커뮤니티 및 데이터베이스

클린 룸에 대한 다양한 자료에 대한 오프 가스 테스트 데슬롯 커뮤니티베이스

반도체 공장의 깨끗한 공간은 제품 제조 공정의 수율을 향상시키기 위해 매우 정교한 깨끗한 공간이 필요합니다
깨끗한 방을 건설하는 슬롯 커뮤니티 중 하나는 청결 요구 사항을 충족시키기 위해 기체 오염 물질을 거의 소산하지 않는 재료를 선택하는 것이 중요한 요소입니다
따라서 우리는 다양한 재료의 추적 에미테이터 테스트 및 평가를위한 슬슬슬슬슬롯 커뮤니티뮤니티뮤니티뮤니티뮤니티을 확립 했으며이 슬슬슬슬슬롯 커뮤니티뮤니티뮤니티뮤니티뮤니티을 기반으로 배출 특성에 대한 대규모 데이터베이스를 축적했습니다

기능 및 효과

1 미량 화학 물질을 안정적으로 슬롯 커뮤니티

● 나노 그램의 추적 구성 슬롯 커뮤니티를 캡처하고 분석합니다
● 원래 챔버 장치는 높은 테스트 효율을 제공합니다
● GC-MS 및 IC는 수집 된 구성 슬롯 커뮤니티를 분석하는 데 사용됩니다

2 배출 특성은 시간이 지남에 따라 변화를 파악합니다

● 화학 방출량은 시간이 지남에 따라 크게 변합니다 우리는 또한 재료의 나이에 따라 변화의 추세를 이해합니다
● 배출 경향은 다음 패턴으로 분류됩니다
초기 단계에서 낮음 → 빠르게 감쇠 (High)
〃 → 몇 개월 후에도 부패하지 않습니다 (결함)
초기의 높음 → 빠르게 감쇠 (좋은)
〃 → 느린 감쇠 (나쁜)

3 성분에 의한 슬롯 커뮤니티

● 물질에 따라 약 50 가지 유형의 화학 물질을 감지 할 수 있습니다 그것들은 개별적으로 질적으로 정량화되며 슬롯 커뮤니티 물질의 식별을 고려하여 평가됩니다

4 시뮬레이션에서의 활용

● 데슬롯 커뮤니티는 고순도 질소 가스가 배출되는 챔버 방법을 사용하여 배출 속도로 구성되어 오염 부하를 계산하는 데 사용될 수 있습니다