고성능 진동 분리 및 지진 분리 시스템 "세미콘"

미크론 수준에서 주요 지진으로 흔들리는 것을 줄이는 지진 고립 바닥 시스템

최근 몇 년 동안 반도체 공장 및 고급 연구 시설에서 제조 장비 및 검사 장비의 성능이 향상되면서 진동 공차가 점점 더 엄격 해지고 있습니다. 한편, 시설 레이아웃 계획의 자유에 대한 수요로 인해, 큰 범위로 인해 기둥이없는 공간이 흔해졌으며, 동시에 건물은 생산 시설의 증가에 따라 다중층이되고 있습니다. 결과적으로 건물 구조의 수평 고유 주파수와 바닥 슬래브의 수직 고유 주파수가 감소하여 건물이 쉽게 흔들릴 수 있습니다. 건축 구조로 이러한 진동 문제를 해결하려고하면 과도하게 디자인하여 비용이 크게 증가 할 수 있습니다.
따라서이 시스템은 특히 진동에 반대하는 혼란스러운 구역을 통합하고 고성능 진동 분리/격리 바닥 면적을 만듭니다. 이를 통해 미크론 수준에서 주요 지진에 이르기까지 광범위한 진동을 제거하는 저렴한 대규모 진동 분리 공간이 가능합니다.
*세미콘 : 지진 및 마이크로 진동 제어 시스템

기능 및 효과

1. 전자 현미경 및 전자 빔 노출 기계의 지진 제거 및 분리를 지원합니다

● 교통 진동 및 보행 진동과 같은 외부 흔들림으로부터 정밀 장비를 보호합니다.

2. 다양한 바닥 크기에 적합

● 약 3m x 3m의 대규모 이중 침대 진동 분리 (최대 수백 m2를 사용할 수 있음)에서 약 3m x 3m의 진동 분리 테이블에서 사용할 수 있습니다.

3. 미량 수준에서 주요 지진으로 수평, 위아래 진동 분리 및 지진 분리를 지원합니다

● 수평 일뿐 만 아니라 위아래로 움직일 수 있으며 미크론 수준에서 주요 지진에 이르기까지 광범위한 문제를 처리 할 수 ​​있습니다.